EACVD相关论文
本工作利用透射电镜对电子束增强热丝化学汽相沉积金刚石薄膜的微观结构及生长方式进行了研究。观察表明:外强颜色不同的金刚石膜,......
本文报道了用电子助进化学气相沉积（ＥＡＣＶＤ）方法合成金刚石膜的结果．用ｘ射线衍射喇曼散射和扫描电子显微镜等对合成的薄膜的性质及形貌进行了......
金刚石由于具有高硬度、高热导率、高红外透过率和优异的半导体特性,在高技术和未来的工业领域有广泛的应用前景.尤其是它的高热导......
在EACVD金刚石膜生长过程中,衬底温度、热丝温度、热丝电流和气源流量等是其重要的工艺参数。鉴于手动控制的不精确,采用了单片机M......
Monte Carlo simulations are adopted to study the electron transport process in the non-uniform electric field. Some impo......
利用热阴极直流等离子体化学气相沉积技术分别在ＣＨ４－Ｈ２和Ｃ２Ｈ５ＯＨ－Ｈ２两种不同的工作环境中沉积金刚石膜，同时利用发射光谱对等离子体气相环境进行了原......
本文采用电子增强化学气相沉积（ＥＡＣＶＤ）方法，以甲烷和氢气的混合气体为原料制备金刚石膜，并结合拉曼光谱、扫描电子显微镜、顺磁共振谱等测试......
采用Monte Carlo方法，模拟了EACVD淀积金刚石薄膜中氢分解过程 .建立了电子碰撞使氢分解的模型，给出了在基片表面电子及氢原子的能量......
以[CH4+H2]为反应气体,利用EACVD的方法在Si(100)衬底合成了表面光滑的超薄金刚石薄膜.利用扫描电子显微镜(SEM)、显微喇曼光谱、X......
本工作采用Monte Carlo方法,根据辉光放电理论,对以H2S为掺杂源气体采用EACVD技术合成n型硫掺杂的金刚石薄膜的动力学过程进行了模......
采用蒙特卡罗方法，对EACVD中氢原子的发射过程进行了模拟。给出了由氢原子谱线测定电子平均能量的方法，结果对EACVD生长金刚石薄膜过......
采用蒙特卡罗方法,模拟了CH4/H2混合气体为源气体的EACVD中的氢原子发射过程.考虑了电子与H2的弹性碰撞及振动激发、分解、电子激......
采用蒙特卡罗方法, 对以CH4/H2混合气体为原料气体的EACVD中氢原子的发射过程进行了模拟. 在模拟中考虑了电子与H2的弹性碰撞及振......
采用蒙特卡罗方法, 对以CH4/H2混合气体为源气体的电子助进热丝化学气相沉积(EACVD)中的氢原子发射过程进行了模拟. 在模拟中考虑......
采用蒙特卡罗模拟方法,研究了电子辅助热丝化学气相沉积(EACVD)技术低温合成金刚石薄膜过程中反应区的非线性电场分布.结果表明:阳......
Nanocrystalline diamond films were deposited on polished Si wafer surface with electron assisted hot filament chemical v......
本工作利用透射电镜对电子束增强热丝化学汽相沉积金刚石薄膜的微观结构及生长方式进行了研究。观察表明:外强颜色不同的金刚石膜,......
在类金刚石和金刚石膜的沉积过程中,等离子体电子密度的变化对工艺参数有很大的影响。本文介绍了用于测量 EACVD 中等离子体电子密......
根据EACVD系统的实际几何特点和工艺参数建立了该系统的三维流场有限元模型,研究了衬底温度及摆动周期、热丝参数、进气口参数对衬......
采用EACVD方法沉积掺硼金刚石膜,研究了掺硼金刚石膜的生长特性、电学性能以及掺硼金刚石膜的电化学性质。本文采用液态B(OCH3)3做......
EACVD金刚石膜设备在长时间工作条件下工艺参数难以稳定，金刚石膜生长速度低等问题已成为目前制约金刚石膜产业化的重要障碍之一。......
